原料空氣經(jīng)空氣壓縮、凈化，進(jìn)入精細(xì)過濾器,經(jīng)過螺旋、凝集、表面三級(jí)過濾除掉大多數(shù)液態(tài)水和油污，然后進(jìn)入冷凍式干燥機(jī)，由冷媒壓縮機(jī)制冷體系將壓縮空氣的壓力露點(diǎn)降至2～3℃，除掉很多的水分，之后進(jìn)入超精過濾器，進(jìn)一步除掉壓縮空氣中含有的固體顆粒，使壓縮空氣質(zhì)量到達(dá)0.01μm，接著進(jìn)入一臺(tái)活性碳罐,除掉大多數(shù)的油類、烴類等，由此經(jīng)過空氣緩沖罐進(jìn)入兩個(gè)填裝有吸附劑的變壓吸附別離體系，即NGN-110D型制氮機(jī)組。潔凈的壓縮空氣由吸附塔底端進(jìn)入，氣流經(jīng)空氣擴(kuò)散器擴(kuò)散今后，均勻進(jìn)入吸附塔，進(jìn)行氧氮吸附別離，然后從出口端流出氮?dú)猓M(jìn)入氮?dú)饩彌_罐，這一產(chǎn)氮進(jìn)程約1分鐘，之后經(jīng)均壓和減壓（至常壓），脫除所吸附的雜質(zhì)組分（主要為氧氣），完結(jié)吸附劑的再生。兩個(gè)吸附塔交替循環(huán)操作，接連送入質(zhì)料空氣，接連生產(chǎn)純度≥99.9%；產(chǎn)值≥110Nm3/h；壓力0.6 MPa（可調(diào)）；露點(diǎn)≤-40℃的氮?dú)狻?/p>

從制氮機(jī)出來的氮?dú)?，?jīng)熱交換器和加熱器加熱到必定溫度今后，進(jìn)入填充碳催化劑的脫氧器，碳和氮?dú)庵械挠嘌醴错懮啥趸己臀⒘康乃?，再進(jìn)入高效冷卻器降到常溫，再經(jīng)過填充了分子篩的吸干機(jī)除掉二氧化碳和水分，最終經(jīng)過高純氮?dú)饩彌_罐，精細(xì)過濾器得到高純度氮?dú)?，氮?dú)饧兌?ge;99.999%；產(chǎn)值為≥100Nm3/h；出口溫度≤40℃，壓力0.5 MPa（可調(diào)）氮?dú)獬郝饵c(diǎn)-70℃。